Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-28763 Автор(ы) : Амиров И.И. Заглавие : Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 Выходные данные : М., 2010 Колич.характеристики :45 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 + 81.13.30 УДК : 621.3.049.76-047.84(043) + 621.38-022.532(043) + 620.3(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноэлектроника--микросистемотехника--нанотехнология--плазмохимическое травление--плазмохимическое осаждение Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)