Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-28508 Автор(ы) : Сивин Д.О. Заглавие : Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20 Выходные данные : Томск, 2010 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 18-22 (38 назв.) ГРНТИ : 55.20.15 + 55.22.19 УДК : 621.9.048.7(043) + 621.793.184(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металлическая плазма--генератор--непрерывная вакуумная дуга--алюминий--ионная имплантация Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)