Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-27759 Автор(ы) : Соловьев В.В. Заглавие : Разработка метрологического обеспечения измерений геометрических и механических величин методами полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.15 Выходные данные : М., 2010 Колич.характеристики :34 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 32-34 (9 назв.) ГРНТИ : 81.13.30 УДК : 620.3(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнологии--наноразмерные структуры--наноструктурированные материалы--геометрические размеры--механические параметры--средства измерения--нанометровая точность--сканирующая зондовая микроскрпия--нанотвердомеры Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)