Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-24706 Автор(ы) : Дусь А.И. Заглавие : Моделирование многостадийного термического окисления кремния и образования фиксированного заряда : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : СПб., 2010 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.9-047.84(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--диоксид кремния--термическое окисление--моделирование--диэлектрик--интегральные микросхемы Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)