Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-24500 Автор(ы) : Милешко Л.П. Заглавие : Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог, 2010 Колич.характеристики :47 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 41-47 (57 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.9-047.84(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диоксид кремния--анодные пленки--легирование--физико-химические основы--технологические основы--легирующие электролиты--интегральные схемы--полупроводниковые приборы Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)