Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-22165 Автор(ы) : Родионов И.А. Заглавие : Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 Выходные данные : М., 2010 Колич.характеристики :17 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)