Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-21032 Автор(ы) : Рыжук Р.В. Заглавие : Разработка и исследование технологических основ формирования диодных ионно-легированных структур на основе карбида кремния : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог, 2010 Колич.характеристики :19 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-19 (11 назв.) ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.382.2-047.84(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)