|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-21032
Автор(ы) : Рыжук Р.В.
Заглавие : Разработка и исследование технологических основ формирования диодных ионно-легированных структур на основе карбида кремния
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2010 Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-19 (11 назв.)
ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.382.2-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|