Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-4336 Автор(ы) : Гусев Е.Ю. Заглавие : Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог, 2009 Колич.характеристики :20 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-19 (24 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.382-047.84(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)