|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-4336
Автор(ы) : Гусев Е.Ю.
Заглавие : Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2009 Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-19 (24 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.382-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|