Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-5123 Автор(ы) : Лемякин А.А. Заглавие : Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 Выходные данные : Саратов, 2009 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.) ГРНТИ : 47.13.09 УДК : 621.385.032.94(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)