Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-4278 Автор(ы) : Фам Куанг Тунг Заглавие : Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе "кремний - диоксид кремния" для элементов и устройств вычислительной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 Выходные данные : СПб., 2009 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.) ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-025.27(043) + 004.3-03(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)