Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-3358 Автор(ы) : Шумилов А.С. Заглавие : Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : автореф. дис. ... канд. фз.-мат. наук : 05.27.01 Выходные данные : М., 2009 Колич.характеристики :25 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 24-25 (8 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382-047.84(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)