Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-1250 Автор(ы) : Овчинников В.А. Заглавие : Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2009 Колич.характеристики :30 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 29-30 (17 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382-047.84(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)