|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар10-1250
Автор(ы) : Овчинников В.А.
Заглавие : Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2009 Колич.характеристики :30 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 29-30 (17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|