Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар08-8386 Автор(ы) : Бровин Д.С. Заглавие : Численное моделирование роста поликристаллического кремния из хлоридных соединений : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : СПб., 2008 Колич.характеристики :16 с: ил Примечания : Библиогр.: с. 18(6 НАЗВ.) ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)