|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар08-8386
Автор(ы) : Бровин Д.С.
Заглавие : Численное моделирование роста поликристаллического кремния из хлоридных соединений
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : СПб., 2008 Колич.характеристики :16 с:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18(6 НАЗВ.)
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|