Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР94-283 Автор(ы) : Хаки Исмаиль Хаки Тахер Заглавие : Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 Выходные данные : Минск, 1993 Колич.характеристики :14 с.: ил Примечания : В надзаг.: Белорус. гос. ун-т. Библиогр.: с.14(4назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592.002:669(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)