|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар08-1097
Автор(ы) : Алексейчук А.В.
Заглавие : Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2007 Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-19(10 назв.)
ГРНТИ : 29.35.43 УДК : 621.385.833.2-229(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|