Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР93-7057 Автор(ы) : Трохин В.Е. Заглавие : Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.19 Выходные данные : М., 1993 Колич.характеристики :21,7. с.: ил Примечания : В надзаг.: Гос.НИИ хим.реактивов и особо чистых хим. веществ. Библиогр.: с.21 ( 5 назв. ) ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.3.049.76.002.3(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)