|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-3338
Автор(ы) : Редичев Е.Н.
Заглавие : Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2006 Колич.характеристики :26 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-25(20 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|