Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-3338 Автор(ы) : Редичев Е.Н. Заглавие : Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2006 Колич.характеристики :26 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 21-25(20 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)