Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-2872 Автор(ы) : Мустафаев А.Г. Заглавие : Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Владикавказ, 2006 Колич.характеристики :17 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-17(11 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)