|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-2872
Автор(ы) : Мустафаев А.Г.
Заглавие : Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Владикавказ, 2006 Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-17(11 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|