Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР93-5703 Автор(ы) : Оскар Хосе Араика Ривера Заглавие : Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 Выходные данные : Минск, 1993 Колич.характеристики :14 с Примечания : В надзаг.: Белорус.гос.ун-т. Библиогр.: с.14(3 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.3(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)