Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-сф79 Автор(ы) : Терашкевич И.М. Заглавие : Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2006 Колич.характеристики :25 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 24-25 ГРНТИ : 47.33.31 + 45.53 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) + 621.31-181.4(043) Экземпляры :СФ(1) Свободны : СФ(1)