Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-1141 Автор(ы) : Пестов А.Е. Заглавие : Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 Выходные данные : Н. Новгород, 2006 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 15-18. ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.3.049.77.002:776(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)