|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар07-1141
Автор(ы) : Пестов А.Е.
Заглавие : Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01
Выходные данные : Н. Новгород, 2006 Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-18.
ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|