Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар06-13978 Автор(ы) : Ли Цзень Фень Заглавие : Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.00.02, 01.04.04 Выходные данные : Томск, 2006 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-18(9 назв.) ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)