Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар06-6973 Автор(ы) : Цимбалов А.С. Заглавие : Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : М., 2006 Колич.характеристики :26 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 26 (8 назв.). ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)