Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар05-7501 Автор(ы) : Гришко А.С. Заглавие : Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4 - H2 на подложках цилиндрической формы : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2005 Колич.характеристики :25 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 25(10 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)