Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-15295 Автор(ы) : Солдатенко С.А. Заглавие : Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : Воронеж, 2004 Колич.характеристики :17 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-17 (16 назв.) ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592.9(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)