Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-14603 Автор(ы) : Зиновьев В.А. Заглавие : Процессы на поверхности кремния при низкоэнергетическом воздействии в условиях молекулярно-лучевой эпитаксии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Новосибирск, 2004 Колич.характеристики :21 с: ил Примечания : Библиогр.: с. 19-21(22 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)