Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-12215 Автор(ы) : Горшков В.В. Заглавие : Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог, 2004 Колич.характеристики :20 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 28-20 ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592.9.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)