|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-12215
Автор(ы) : Горшков В.В.
Заглавие : Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучем
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2004 Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 28-20
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592.9.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|