Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР92-9418 Автор(ы) : Васильев А.Л. Заглавие : Электронная микроскопия высокого разрешения материалов микроэлектроники и ВТСП : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 Выходные данные : М., 1992 Колич.характеристики :24 с.: ил Примечания : В надзаг.: Рос.АН,Ин-т кристаллографии им.А.В.Шубникова. Библиогр.: с. 22-24(25назв.). ГРНТИ : 47.09 УДК : 621.3.049.76.002.3(043) + 621.315.5-973(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)