Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-7411 Автор(ы) : Кирюшина И.В. Заглавие : Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :21 с. Примечания : Библиогр.: с. 20-21(9 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)