Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-6698 Автор(ы) : Жуков А.А. Заглавие : Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01, 05.27.06 Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :52 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 48-52(46 назв.) ГРНТИ : 47.09.51 + 47.13.11 УДК : 621.3.049.76.002.3(043) + 621-181.4(043) + 681.586-181.4(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)