Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-4961 Автор(ы) : Каблуков А.Л. Заглавие : Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.13 Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :26 c.: ил. Примечания : Библиогр.: с.25-26 (10 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)