|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-4961
Автор(ы) : Каблуков А.Л.
Заглавие : Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.13
Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :26 c.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с.25-26 (10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.315.592-416.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|