|
|
Ар03-8222
Абрамова, Е. А.
Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Е. А. Абрамова. - Воронеж, 2003. - 16 с. : ил.
Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|