|
|
АР92-06626
Чапланов, А. М.
Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. М. Чапланов. - Минск, 1992. - 32 с
В надзаг.: АН Республики Беларусь.Ин-т электроники. Библиогр.: с. 28-32(45назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|