|
|
АР92-05503
Филин, С. А.
Технология высокоэффективной очистки твердотельных микроэлектронных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Филин. - М., 1992. - 20 с
В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 19-20(16назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|