|
|
АР92-4626
Жмакин, А. И.
Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.02.05 / А. И. Жмакин. - СПб, 1992. - 33 с
В надзаг.: С.-Петербург.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с. 31-32(31назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|