Ар03-1807     Ширяев, С. А.     Разработка метода получения многокомпонентных покрытий в магнетроне с мозаичным катодом [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / С. А. Ширяев. - М., 2002. - 20 с. : ил. Библиогр.: с. 19-20(16 назв.) ГРНТИ 55.22.19 УДК 621.793.182(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)