Ар03-1309

    Хрусталев, В. А.
    Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.09.10 / В. А. Хрусталев. - Новосибирск, 2002. - 32 с. : ил.
Библиогр.: с. 29-32(52 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)