АР90-026083

    Пилипенко, В. А.
    Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. А. Пилипенко. - Минск, 1990. - 33 с.
В надзаг. : АН БССР. Ин-т электроники АН БССР. Библиогр.:с. 27-3371 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)