|
|
АР90-010365
Левченко, Е. Н.
Исследование процесса проявления электронорезиста с учетом закономерностей формирования в нем скрытого изображения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / Е. Н. Левченко. - Киев, 1990. - 16 с. : ил.
В надзаг. : АН УССР. Ин-т кибернетики им.В.М.Глушкова. Библиогр.:с. 16(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|