|
|
АР90-013610
Левин, А. Ю.
Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Ю. Левин. - Воронеж, 1990. - 20 с. : ил.
В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 19-20(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|