АР90-018359

    Тригуб, В. И.
    Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. И. Тригуб. - М., 1990. - 28 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)