|
|
АР90-018488
Баранов, В. В.
Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидсодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. В. Баранов. - М., 1990. - 51 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 44-51(106 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|