|
|
АР90-011080
Яшин, К. Д.
Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Д. Яшин. - Минск, 1990. - 25 с.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|