|
|
АР90-020710
Калошкин, А. Э.
Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Э. Калошкин. - Минск, 1990. - 18 с.
В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-18(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|