|
|
АР90-08275
Жук, С. В.
Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.05, 05.13.16 / С. В. Жук. - М., 1990. - 18 с.
В надзаг. : Моск. ин-т тонкой хим. технологии им.М.В.Ломоносова. Библиогр.:с. 17-18(11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|