|
|
АР91-010825
Киреев, В. Ю.
Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процессов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. Ю. Киреев. - М., 1991. - 40 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 35-40(45 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|