|
|
АР91-05719
Ниматов, С. Ж.
ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / С. Ж. Ниматов. - Ташкент, 1991. - 22 с. : табл.
В надзаг. : АН УзССР. ИН-т электроники им.У.А.Арифова. Библиогр.:с. 19-22(24 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|