|
|
АР91-01670
Шурдук, Б. К.
Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления нарушенного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.01 / Б. К. Шурдук. - М., 1990. - 19 с.
В надзаг. :Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. Библиогр.:с. 17-19(17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|