|
|
АР02-9203
Прудник, А. М.
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник. - Минск, 2002. - 21 с. : ил.
В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|