|
|
АР02-6649
Старостина, Е. А.
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / Е. А. Старостина. - Черноголовка, 2001. - 19 с. : ил.
Библиогр.: с. 18-19
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|